测量范围 |
电阻率:10-5~105
Ω.cm(可扩展); 方块电阻:10-4~106
Ω/□(可扩展); 电导率:10-5~105
s/cm;
电阻:10-5~105
Ω; |
恒流源 |
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调 |
数字电压表 |
量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV; 输入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%
; |
四探针探头基本指标 |
间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力); |
模拟电阻测量相对误差
|
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3% |
整机测量最大相对误差 |
(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±4% |
测试标准和方式 |
可选用单电测测试方法或双电测测试方法两种方法进行温控测试,当不使用温控功能测试时,可用作常规四探针测试。 |
软件功能 |
软件可记录、保存、打印每一点的测试数据,并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成随温度变化的曲线图,也可把测试数据输出到Excel中,对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能,根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 |