| 测量范围 |
电阻率：10-5～2×105 Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：10-4～2×106 Ω/□(可扩展)；
电导率：10-5～2×105 s/cm；
电阻：10-5～2×105 Ω； |
| 恒流源 |
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调； |
数字电压表 |
常规量程为000.00～199.99 mV，分辨力：10μV；
低阻扩展时为00.000～19.999mV，分辨力：1μV;
输入阻抗＞1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； |
四探针探头基本指标 |
可选探针间距：1±0.01mm、1.59±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3％；
可选探针材质：碳化钨、高速钢、磷铜镀金；
探针压力：4～16 牛顿(总力)； |
| 模拟电阻测量相对误差
|
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%； |
| 整机测量最大相对误差 |
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4%； |
测试标准和方式 |
可选用单电测测试标准或双电测测试标准两种方法进行温控测试。当不使用温控功能测试时，可用作不变温常规四探针测试仪测试，仪器免费附送不变温RTS-8、RTS-9四探针测试软件； |
软件功能 |
软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成随温度变化的曲线图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试； |
计算机通讯接口 |
符合 IEEE 1284 规范的计算机并行接口（25孔并口），支持 EPP、ECP 通讯模式，高速并行采集数据； |
