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 RTS-8型四探针测试仪专用测试软件
 RTS-5型双电测四探针测试仪专用测试软件
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·标淮
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 直线四探针法对金属膜的薄膜电阻试验方法(ASTM F390-98)
 直线四探针法测定硅外延层、扩散层和离子注入层的薄膜电阻(ASTM F374-00A)
 锗单晶电阻率直流四探针测定方法(GB5251-85)
 硅单晶电阻率直流四探针测量方法(GB/T1552-1995)
 寿命测试(GB/T1553-1997)
 硅处延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法(GB/T14141-1993)
 硅片径向电阻率变化的测量方法(GB/T11073-1989)
 非本征半导体材料导电类型测试方法(ASTM F42-93)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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