四探针科技-RTS7型二探针测试仪、二探针电阻率测试仪

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RTS-7

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针

测

试

仪

    RTS-7型二探针测试仪是运用二探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料纵向电阻率的专用仪器。
    仪器由主机、测试台、二探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
    仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
    本仪器适用于半导体材料厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

技　术　指　标 ：

测量范围	电阻率：10^-4～10⁵ Ω.cm；分辨率：10^-3Ω.cm；
恒流源	电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
数字电压表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
二探针探头基本指标	间距：3mm（可选其它间距）；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3％；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；
二探针探头应用参数	(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行)	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
测试架	配置T-2A测试架，两端电极Ф8mm～20mm（可选其他尺寸订做）
计算机通讯接口	并口
标准使用环境	温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；

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