| 测量范围 |
电阻率：10-5～2×105 Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：10-4～2×106 Ω/□(可扩展)；
电导率：10-5～2×105 s/cm；
电阻：10-5～2×105 Ω； |
可测样品厚度 |
≤3mm （双电测测试方法标准规定样品导电层的厚度不大于3mm才满足双电测的测试条件。测试的样品厚度超过3mm时要用单电测测试方法来测试，单电测测试方法对样品厚度无限制。双电测四探针测试仪主机兼容单电测的测试软件，单电测的测试软件免费附送，仪器可同时实现双电测和单电测测试）； |
测试台台面尺寸
(选配) |
140mm×150mm(配S-2A型测试台)；
210mm×250mm(配S-2B型测试台)；
400mm×500mm(配S-2C型测试台)； |
| 恒流源 |
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调； |
数字电压表 |
常规量程为000.00～199.99 mV，分辨力：10μV；
低阻扩展时为00.000～19.999mV，分辨力：1μV;
输入阻抗＞1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； |
四探针探头基本指标 |
可选探针间距：1±0.01mm、1.59±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3％；
可选探针材质：碳化钨、高速钢、磷铜镀金；
探针压力：4～16 牛顿(总力)； |
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-2004进行) |
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字； |
| 整机测量最大相对误差 |
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±4%； |
测试标准 |
采用双电测测试标准，通过RTS-9双电测测试软件控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算出电阻值。仪器主机也可兼容RTS-8四探针测试软件实现单电测测试标准，两套软件可同时使用； |
软件功能 |
软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试； |
计算机通讯接口 |
符合 IEEE 1284 规范的计算机并行接口（25孔并口），支持 EPP、ECP 通讯模式，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）； |
| 标准使用环境 |
温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无高频干扰；
无强光直射； |
