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LT-2000型单晶少子寿命测试仪

 
 
    LT-2000型单晶少子寿命测试仪该仪器参考美国 A.S.T.M 标准而设计的用于测量硅单晶的非平衡少数载流子寿命。寿命测量可灵敏地反映单晶体重金属污染及缺陷存在的情况。仪器配套专用采集数据计算机使用,可存储波形和测试数据,也可保存屏幕画面,采样数据可直接输出Excel文件或输出TXT文件。

    半导体材料的少数载流子寿命测量,是半导体的常规测试项目之一。本仪器灵敏度较高,配备有红外光源,可测量包括集成电路级硅单晶在内的各种类型硅单晶,以及经热处理后寿命骤降的硅单晶、多晶磷检棒的寿命测量等,也可以测试锗单晶体。少子寿命曲线数据直接通过USB口输出到计算机,移动屏幕上的测量坐标线即可读出少子寿命数值。
测量方式和功能
少子寿命曲线数据直接通过USB口输出到计算机,移动屏幕上的测量坐标线即可读出少子寿命数值;
可存储波形和测试数据,也可保存屏幕画面,采样数据可直接输出Excel文件或输出TXT文件;
    本仪器参照半导体设备和材料国际组织SEMI标准(MF28-0707、MF1535-0707)设计制造,采用高频光电导衰退法的原理设计,由稳压电源、高频源、检波放大器,特制的InGaAsp/InP红外光源及样品台共五部份组成。各部分分别采用印刷电路和高频头接插连接。整机结构紧凑、读数简单、测量数据可靠。,
技 术 指 标
测试单晶电阻率范围
>2Ω.cm;
可测单晶少子寿命范围
5μS~7000μS;
配备光源类型
波长:1.09μm;余辉<1 μS;闪光频率为:20~30次/秒;
高频振荡源
用石英谐振器,振荡频率:30MHz;
前置放大器
放大倍数约25,频宽2Hz-1MHz;
仪器测量重复误差
<±20%;
测量方式
执行MF28、MF1535读数方式,使用测量坐标线直接读数。少子寿命曲线数据直接通过USB口输出到计算机,移动屏幕上的测量坐标线即可读出少子寿命数值。测试软件可存储波形和测试数据,也可保存屏幕画面,采样数据可直接输出Excel文件或输出TXT文件;
仪器消耗功率
<25W;
仪器工作条件
温度: 10-35℃、 湿度 < 80%、使用电源:AC 220V,50Hz;
可测单晶尺寸
断面竖测:φ25mm—150mm; L 2mm—500mm;
纵向卧测:φ25mm—150mm; L 50mm—800mm;
配置
少子寿命测试仪主机一台、专用采集数据一体机台式电脑一台;
 
下载LT-2000型单晶少子寿命测试仪产品资料(PDF)
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