| 1.系统主要指标 |
1.1 四探针头最大移动范围:X轴:1100mm，Y轴:1100mm，Z轴:150mm;
1.2 三轴运动均采用松下伺服电机及配套驱动器;
1.3 三轴导轨均采用上银导轨，滚珠丝杆，重复精度±0.02mm;
1.4 工控机配套研华工控机;
1.5 大理石平台最大可放置1000mm*1000mm样品;
1.6. 机器尺寸:
大理石平台尺寸:1600cm(W)×800cm(H)×1600cm(D) (以实物为准)
控制柜尺寸: 80cm(W)×166cm(H)×155cm(D) (以实物为准); |
| 2.四探针测试仪技术指标 |
2.1 测量范围电阻率：10-5～105Ω.cm；方块电阻：10-4～106Ω/□；电阻：10-5～105Ω；可测样品尺寸：1000mm×1000(标准)，其他尺寸可订做；
2.2 恒流源电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档；
2.3 数字电压表
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
扩展量程时分辨力：1μV；
输入阻抗：＞1000MΩ；
精度：±0.1%；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
2.4 四探针探头基本指标
间距可选：1±0.01mm、1.59±0.01mm；
针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；
机械游移率: ≤0.3％；
探针：碳化钨材质，探针直径Ф0.5mm；
探针针尖曲率半径可选:16μm、100μm、200μm、300μm、500μm；
探针压力：4～8 牛顿(总力)；
2.5 模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-2004进行）
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±１字；
2.6 重复性误差≤±0.5%；
2.7 系统在测试程序的引导下可进行自动阵列测试，每个测试点都输出方块电阻或电阻率的测量值。不同位置的测量值变化通过2D、3D-Map、等值线图、点值分布图、直方图生动展示出来。详细的数据统计分析，并将所有数据和分析图表输出到Excel； |
