| 1.系统主要指标 |
1.1 温度可控范围:-40℃～85℃，配置5个Pt温度传感器，中心1个，其他4个均匀分布。5台温度监视器同时显示各处温度；
1.2 系统配置9个四探针头、9个矩阵模块、9个数据采集模块；
1.3 高低温旋转平台系统耐受温度-60℃～120℃；
1.4高低温直线模组系统耐受温度-60℃～120℃；
1.5 载片台可放置8寸晶片，有notch定位。测量49点对晶圆片进行电阻率和方块电阻分布的测量，绘制出等值线图后，从而直接观察到整个晶圆片的电阻率或方块电阻大小的分布；
1.6 载片台上对应9个四探针头有9个位置可同时放置9个不同的小样品，一次性进行控温测量。相比之前每个样品需单独测试，节省大量的测试时间和人工； |
| 2.四探针测试仪技术指标 |
2.1 测量范围电阻率：10-5～105Ω.cm；方块电阻：10-4～106Ω/□；电阻：10-5～105Ω；可测晶片直径：200mm(标准)，其他尺寸可订做；
2.2 恒流源电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档；
2.3 数字电压表
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
扩展量程时分辨力：1μV；
输入阻抗：＞1000MΩ；
精度：±0.1%；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
2.4 四探针探头基本指标
间距可选：1±0.01mm、1.59±0.01mm；
针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；
机械游移率: ≤0.3％；
探针：碳化钨材质，探针直径Ф0.5mm；
探针针尖曲率半径可选:16μm、100μm、200μm、300μm、500μm；
探针压力：4～8 牛顿(总力)；
2.5 模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-2004进行）
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±１字；
2.6 重复性误差≤±0.5%；
2.7 系统在测试程序的引导下可进行变温测试，每个温度点都输出样品的方块电阻或电阻率的测量值。不同温度点测量值变化通过2D、3D-Map、等值线图、点值分布图、直方图生动展示出来。详细的数据统计分析，并将所有数据和分析图表输出到Excel； |
| 3.可程式恒温恒湿试验机技术指标 |
3.1可程式恒温恒湿试验机的设计、制造、性能满足GB10586、GB10592、GJB4-2-83、GJB4-3-83、GJB4-4-83、 GJB4-5-83等标准，适应于各种器件、部件、模块、单元、分机等不同形式产品的环境应力筛选及性能、材料模拟试验等；
3.2温度: -40℃～150℃；
3.3湿度:20%RH～98%RH；
3.4升降温速率:(空载状态下)升温平均每分钟3℃，降温平均每分钟1℃；
3.5机器精度:
解析精度:温度0.01℃，湿度0.1%RH；
精度:(+/-)1℃，波动度≤0.5℃；湿度: (+/-)2%RH；
3.6 机器尺寸:
内箱尺寸:50cm(W)×60cm(H)×50cm(D)；
外箱尺寸: 80cm(W)×166cm(H)×155cm(D) (以实物为准)； |
