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ST-102E型探针测试台
显微镜和USB接口CCD摄像头共存的监视方式

      
   ST-102E型探针测试台(英文叫Prober station,中文又称中测台,点测机。)、
与测试仪器配接后可用于集成电路芯片及各种晶体管芯的电参数测试及功能调试,适用于科研、新品试制及小批量生产的中间测试。

技 术 指 标

工作台面
 370mm*245mm
载物台直径
 4"
可选二种放大倍数
 *14-90倍连续变倍;
 *17.5-112.5倍连续变倍;
监视方式
 显微镜和USB接口CCD摄像头共存的监视方式
光学参数
 手轮调焦范围:60mm;升降调焦范围:200mm;
精密旋转台

 粗调范围:360°;微调范围:±10°;最小刻划:1°;
 铜盘直径:Φ85mm;绝缘盘直径:Φ102mm

三维探针座
 探针座X、Y、Z方向调节范围:±3.25mm,分辨率±2μ;
 三维探针座在工作台面可任意位置固定,由磁性开关控制;
 最多可布三维探针座6个;
 探针臂伸出长度:60mm;
 探针长度:40mm;
探针
 探针材质硬质合金,针尖曲率半径2μm;


标准配置
:主工作台、显微镜、USB接口CCD摄像头、三维微调座2个、探针臂2支、探针2支。
可选配件:三维微调架、探针臂、探针、真空泵。

可按用户的实际需求进行订做。

   
下载ST-102E型探针测试台产品资料(PDF)  
实例:CV-2000电容电压特性测试仪搭配ST-102A探针台应用于半导体分立器件工      艺监测方案
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